図1 8kV-3500A光サイリスタのカソードエミッタパターン

8kV-3500A光サイリスタのカソードエミッタパターン

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この写真は、開発した8kV-3500A光サイリスタのカソードエミッタパターンを示している。これまでに実用化されていた光サイリスタは、直径100mmのシリコンウエーハを使用した、定格6kV-2500Aが最大であった。500kVサイリスタバルブを実現するために、新たに直径150mmのシリコンウエーハを使用した定格8kV-3500Aの光サイリスタを開発した。このサイリスタは従来に比べて取り扱うことができる電力を、一気に約2倍に拡大した画期的なデバイスであった。

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