図3 10万回動作での故障リードスイッチの接点部分(550倍)(a)とX線マイクロアナライザーで検出された炭素(b)

10万回動作での故障リードスイッチの接点部分(550倍)(a)とX線マイクロアナライザーで検出された炭素(b)

Copyright © 電子情報通信学会 2009, All Rights Reserved.

(a) 10万回動作時点で、コンタクト抵抗増大で不良になったスイッチ(酸素表面処理無し)の接点表面を観察するとコゲ茶色のポリマー状の膜が観察された。

(b) X線マイクロアナライザーで分析すると、ポリマー状の部分から炭素が検出された。他方、酸素表面処理されたスイッチは1億回の動作を通じて安定したコンタクト抵抗を示し、接点表面にこのようなポリマーは発生していない。酸化処理がロジウムの吸着や触媒作用を抑制していると考えられる。

Copyright© 2010 ITE, IPSJ, IEIJ, IEEJ, IEICE, NII. JSPS. All Rghts Reserved.