図4 レーザ領域と出力導波路の接続部分の電子顕微鏡写真

レーザ領域と出力導波路の接続部分の電子顕微鏡写真

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図(a)では,活性領域に薄い層が挟まっているが,受動導波路領域には層が挟まっていないことがわかる.

図(b)は,境界の接続部分を拡大したもの.図(a)の薄い層は,活性層と屈折率調整層,導波路層の積層で形成されていることがわかる.分かりにくいが,右側の受動導波路領域では,導波路層の最下部に小さな波形状(コルゲーション)が見える.

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