[化学関連] - 材料化学 (デバイス関連化学) - [2010年 - 2019年]
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| 分野のカテゴリ | 卓越研究名 |
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2014 材料化学 デバイス関連化学 |
半導体製造用ネガ型有機溶剤現像リソグラフィープロセスの開発
(半導体製造用, ネガ型有機溶剤現像リソグラフィープロセスの開発, NTIプロセス, フォトリソグラフィー技術, パターニングプロセス, ポジ型プロセス, ネガ型プロセス, 逆転の発想, 極性変換型ポジレジスト, ArF露光) |
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2015 材料化学 デバイス関連化学 |
ArF 液浸リソグラフィ用トップコート材料の開発
(ArF液浸リソグラフィ, アルカリ可溶型の液浸トップコート材の開発, フォトリソグラフィ, フォトレジスト, フッ素アルコール含有樹脂) |
