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[化学関連] - 材料化学 - [2015年 - 2015年]

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分野のカテゴリ 卓越研究名
2015  材料化学

デバイス関連化学

ArF 液浸リソグラフィ用トップコート材料の開発

(ArF液浸リソグラフィ, アルカリ可溶型の液浸トップコート材の開発, フォトリソグラフィ, フォトレジスト, フッ素アルコール含有樹脂)

2015  材料化学

有機・ハイブリッド材料, 高分子化学, 薄膜・表面界面物性

合成二分子膜の発見による分子組織化学の創出と材料科学分野への先駆的貢献

(合成二分子膜, 材料科学, 両親媒性化合物, 二分子膜固定化技術, 自己組織化材料創製技術, 分子組織化学, 全自動電解質分析装置, 二次元高分子・二次元シリカ超薄膜, 自立性巨大ナノ薄膜)

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