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超音波顕微鏡

超音波顕微鏡のブロック図

図1 超音波顕微鏡のブロック図

 超音波顕微鏡は物質・材料の弾性的性質をとらえ、非破壊的に材料を評価する技術である。なかでも、集束超音波を用いた機械走査型超音波顕微鏡(Mechanically Scanned Acoustic Microscope SAM)は分解能と定量性に優れた実用的なシステムである。集束超音波は水カプラを介して試料に照射され、計測には試料表面に励振される漏洩弾性表面波(Leaky Surface Acoustic Wave LSAW)が利用される。画像計測においては、分解能は超音波周波数に依存し、水カプラを用いた場合、1GHzで1μmとなる。定量計測では、試料と超音波デバイスとの距離を変化させることで試料の結晶学的あるいは構造学的異方性を極めて高い精度で計測することができる。光学材料としても重要な強誘電体であるニオブ酸リチウムなどの特性評価に適用されている。

 本研究の成果に対して、電気学会は、1990年、中鉢憲賢氏と櫛引淳一氏に「電気学術振興賞進歩賞」を贈った。


文献

[1] J. Kushibiki and N. Chubachi、Material characterization by line-focus-beam acoustic microscope、1985年、IEEE Trans. Sonics & Ultrason., SU-32, 189-212(1985)
[2] J. Kushibiki and N. Chubachi、Acoustic microscopy for materials characterization、1991年、Ultrasonics International 91 Conf. Proc., 1-13(Butterworth & Heinemann, 1991)
[3] J. Kushibiki, Y. Ohashi and Y. Ono、Evaluation and selection of LiNbO3 and LiTaO3substrates for SAWdevices by the LFB ultrasonic material characterization system、2000年、IEEE Trans. UFFC, 47, 1068-1075(2000)

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分野のカテゴリ

電気・電力
(電気基礎技術)

関連する出来事

1983年
「超音波顕微鏡装置」特許登録

世の中の出来事

1990
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1990
東西ドイツが統一される。

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データなし

キーワード

超音波、非破壊検査、弾性表面波、金属・セラミックス、計測、センサ、電子材料、誘電・絶縁材料
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