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高速テスター向けMEMSスイッチの開発

 MEMS技術を応用したスイッチは既存のスイッチを凌駕する性能が期待されており、実際様々な企業による発売開始の発表が相次いでいる。しかしMEMSスイッチを装置へ取り込み、その優位性を確認した例はほとんどない。

 開発者らは東北大と共同で、高速テスター向けのMEMSスイッチ開発に着手し、熱電アクチュエータによるMEMSスイッチを実現した。開発したMEMSスイッチは、1パッケージの中に2つの熱電アクチュエータが集積化されており、帯域も13GHz以上と次世代のシリアル通信規格にも適応できるものである。開発者らは、このMEMSスイッチを高速テスターに搭載し、既存のリレーを使ったシステムでは到達できなかった高速信号をテストするテスターの開発に成功した。これにより、MEMSスイッチの優位性を実際の装置上で示し、これまで試験が難しかった高速シリアルパスを持つLSIのテスト効率化に貢献することができた。

 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)は、シリコン微細加工技術を用いて付加価値の高いシステムデバイスを提供するもので、システムのカギを握る重要な部分に使われている。特にシステムメーカで課題となっている技術的なニーズに応えてこの技術が活かされると強い競争力を持つことができる。

 開発者らは、早くからMEMSスイッチのLSIテスターへの応用に着目して実用化し、アドバンテストの最新製品に用いてきた。技術的には、貫通配線を形成したガラスウェハとMEMSを形成したウェハを接合封止し、最後に分割するウェハレベルパッケージングにより、清浄な接点表面にして信頼性を確保した。また、熱型アクチュエータを用いることで大きな接点力を持たせたことも成功の要因である。高周波特性のための設計には、アドバンテストの持つ技術力が活かされている。

 電気学会は、この成果を称えて、中村陽登氏、三瓶広和氏(㈱アドバンテスト研究所)、渡部隆氏(㈱アドバンテスト)に、2008年、電気学会振興賞(進歩賞)を贈呈した。

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