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低温ドライエッチング技術の開発

電気学会は、この成果を称えて、奥平定之氏、田地新一氏、辻本和典氏に、1991年、電気学会振興賞(進歩賞)を贈呈した。

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1991
雲仙普賢岳で大火砕流が発生する。
1991
湾岸戦争が始まる。

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