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弾性表面波フィルタの開発と実用化

 表面弾性波(SAW)フィルタは、圧電体の表面に、入力用の電極と出力用の電極を向き合わせて配置した形をしています。アナログの入力信号を入力用電極にかけた場合、電極自身が持っている周期と同じ周波数成分が含まれていれば、その周波数の弾性表面波が発生し、出力用電極で同じ周波数の電気信号に変換されてフィルタ作用が起こります。

 このSAWフィルタは、コンデンサやインダクタを使った従来のフィルタに比べ、小型で軽量、無調整などの長所がありますが、広く電子機器に適用するには低損失化、高周波化、高性能化、低コスト化など多くの基本的な課題を解決する必要がありました。そこでこの研究開発では、設計理論から製造技術に至るまで多くの解決方法を考案して実用化を進めました。例えば、フィルタに必要な周波数特性を厳密に実現するための設計手法を開発しましたが、これはテレビ用中間周波フィルタなどの設計に活用されています。また新しい原理の電極を開発して低損失化を実現し、微細加工技術を駆使して電極の高周波化を達成しました。



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キーワード

弾性表面波フィルタ、一方向性トランスデューサ、中間周波フィルタ、電子デバイス
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